常角法检测圆分度刻划误差谐量失真的研究

【作　者】张红胜 杨进堂
　　　　　(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130022)　

【摘　要】经典的常角法测量圆分度件分度误差的分析中没有提及谐量失真的问题。自从高效率的光电检验仪问世以后，发现光电定角比相法存在误差的谐量失真，经分析是常角法自身引起的。显然，误差谐量失真会影响常角法测量圆分度件刻划误差的测量准确性。合理摆置常角，用直径全中误差表征刻划误差，采用长、中周期误差分项测量等措施可减小谐量失真的影响。

【关键词】 圆分度 刻划误差 常角法 误差谐量失真