平面等厚干涉仪校准方法探讨

何超琼

( 上海市计量测试技术研究院，上海 201203)

【摘 要】 本文作者提出了 JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题，并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。