多个非连接铅垂大平面的共面度测试技术研究

肖作江1 安志勇2 石利霞2 李丽娟2 曹维国2
（1.长春理工大学生命科学学院，长春 130022；2.长春理工大学光电工程学院，长春 130022）

【摘 要】：传统的测量方法很难实现由多个非连续铅垂平面形成大平面的平面度的检测。本文提出一种基于激光准直扫描原理和CCD技术的非接触检测方法，采用扩束系统和缩束系统改善激光光束的质量，在进行数据处理时采用“最佳匹配法”来评价大平面的共面性并建立数学模型，同时对仪器的精度进行了分析。通过实验验证，测得的共面度为0.041mm。

【关键词】：激光准直；铅垂面；共面度；最佳匹配；非接触测量